氣動量儀是在19世紀(jì)20年代末出現(xiàn)的。在西方，1928年，法國人梅納遜（Menneson）在比利時王國申請了氣動量儀。而蘇聯(lián)則聲稱在1926年之前已經(jīng)開始采用氣動測量方法了。早的氣動量儀是低壓水柱式的，它被用于汽車零件的檢測，如氣缸體的孔徑和噴油嘴的測量。以后逐漸在德國、法國得到了普遍的應(yīng)用。
美國早也使用低壓水柱式氣動量儀，鑒于這種量儀在使用上有種種缺點(diǎn)，于是進(jìn)行了中、高壓氣動量儀的研究。隨著高性能的中高壓空氣穩(wěn)壓器的出現(xiàn)，終于從1940年前后開始進(jìn)行高壓量儀的實(shí)用研究和開發(fā)，隨后作為生產(chǎn)現(xiàn)場用量儀在美國得到了推廣和普及。從此在美國，除了實(shí)驗(yàn)室之外，低壓水柱量儀基本上不再被應(yīng)用了。特別是在1941年Sheffidld公司發(fā)展作出了很大的貢獻(xiàn)。在多參數(shù)測量中，大多采用這種氣動量儀。
隨后，F(xiàn)ederal公司研制成差壓式指針型氣動量儀。這種量儀具有發(fā)訊號電接點(diǎn)，可以用于自動測量。
在各種比較測量儀器中，氣動量儀的歷史要算短。40年代美國發(fā)明了浮標(biāo)量儀，50年代日本向美國購買了，60年代日本又向中國轉(zhuǎn)讓了該項(xiàng)技術(shù)，“浮標(biāo)量儀”至今仍然暢銷各國，因?yàn)樗谙铝兴膫€方面表現(xiàn)出良好而又的效果：
·有高精度要求的內(nèi)徑、外徑；
·大批量生產(chǎn)的零件；
·在質(zhì)量管理中被特別重視的零件；
·同時對多個尺寸，進(jìn)行多參數(shù)同時的測量。
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